简介

高纯石英砂一般是指SiO2含量高于 % 的石英微粉，主要应用在 IC 的集成电路和石英玻璃等行业，其高档产品更被广泛应用在大规模及超大规模集成电路、光纤、激光、航天、军事中。 高纯石英砂是中性无机填料，不含结晶水，不参与被填充物的化学反应，是一种非常稳定的矿物填料，广泛应用于

01高纯石英砂应用广泛 石英一直作为有 战略 意义的材料而存在，从二战时期开始，通信电话和军用无线电话的 电子元件 都是石英制的。 如今天然石英矿物可经过一系列的物理和化学提纯技术生产将粒度集中分布在，即为高纯石英砂，被广泛应用于电光源、大规模及超大规模集成电路、太

本发明涉及一种高纯石英的生产装置，尤其是涉及一种CVD法生成高纯石英的装置。背景技术石英玻璃的工业生产技术主要包括电熔工艺，气炼工艺，合成石英玻璃制造工艺，高频等离子火焰熔制工艺。其中合成石英玻璃技术又包括化学气相沉积(CVD)工艺、气相轴向沉积(VAD)工艺、等离子化学气相沉积

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