简介

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【摘要】：LED基片专用摇摆式多线切割机是半导体照明产业中衬底切片的专用装备。衬底材料的切片质量好坏直接影响LED后续加工步骤。传统多线切割机的切割对象为莫氏硬度5左右(金刚石的莫氏硬度为10)的水晶和硅片,LED衬底材料主要采用蓝宝石和碳化硅,这两种材料的莫氏硬度都在9以上,传统多线

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