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《高速平面研磨机机械结构设计》.doc,三 江 学 院 本科生毕业设计（论文） 题 目 高速平面研磨机机械结构设计 高职院 院（系） 机械设计制造及其自动化 专业 学生姓名 常芷铭 学号 G095152003 指导教师 沈仙法 职称 讲师 指导教师工作单位 三江学院 起讫日期 ～ 摘 要 高速研磨技术

机械设计制造及其自动化专业毕业论文设计正文——高速平面研磨机机械结构设计.doc,三 江 学 院 本科生毕业设计（论文） 题 目 高速平面研磨机机械结构设计 高职院 院（系） 机械设计制造及其自动化 专业 学生姓名 常芷铭 学号 G095152003 指导教师 沈仙法 职称 讲师 指导教师工作单位 三江学院

减薄研磨机：PG3000RMX 实现15um晶圆高速量产的研磨抛光一体化生产系统。 样本PDF （677KB ） 产品信息 半导体制造设备 切割机 精密切割刀片 探针台 抛光研磨机 高刚性研磨盘 CMP设备 晶圆生产系统 精密测量仪器 ページの先頭へ戻る 公司简介

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本发明属于机械精密加工方法，适用于硬质合金等难加工材料制成的机械密封环的研磨工序，被加工部位是一环形平面，同时涉及到设备和磨具。现有的加工方法是这样，如美国EC&GSEALOL公司研磨机(LappingMachine)产品说明书所介绍的，参见附图说明图1，整套工序涉及到三台同样的研磨机，分别进行